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諾普得

Semitron® 半導體工程塑料

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産品概述

Semitron® 半導體級産品的研發,是為了幫助設計者和使用客戶來優化元件制造設備的性能。另外,在元件制造時,涉及到要求高耐磨、耐化學和抗靜電的特殊應用,Semitron® 半導體級産品都是良好選材。

Semitron®主要分兩個系列,分别适用于元件操作和測試過程,以及下一代CMP制程。



先進聚合物材料

Semitron MP 370

Semitron MP 370材料用在半導體制造行業,為精密測試座(socket)的設計和制作提供了更多選擇性。

Semitron MP 370不僅有PEEK固有的好吸濕性和耐高溫性,而且具有高的強度和尺寸穩定性。因這款訂制配方材料的機加工性能好,因此可以做到更為精細和幹淨地加工。

  • 低的吸濕性

  • 厲害的機加工性能,可實現小而緊密的孔模

  • 強度和剛度超越了未填充的PEEK材料

  • 内應力低和無模塑坯件的"軟心"問題

Semitron MDS 100

Semitron MDS 100非常好地綜合了強度、剛度和穩定性的特性。它的開發旨在用于不受控制或者高精密度要求的應用場合。Semitron MDS 100是半導體測試座(socket)、嵌套(nest)、夾具和封裝設備的良好選材。

  • 24小時隻有0.10% 的吸濕率(ASTM D570)

  • 耐溫至210°C

  • 彈性模量 > 1,400,000 psi

抗靜電聚甲醛

Semitron ESd 225

Semitron ESd 225是硬盤驅動器制造過程中所用夾具的良好選材;也是矽晶圓工藝操作時的良好選材。它的顔色為褐色。

  • 表面電阻率:1010 - 1012 ohms/sq

  • 耐溫至107°C

  • 良好的耐磨性能

應用

  • 晶圓梳

由Semitron® ESd 225機械加工而成的晶圓梳,解決了傳送設備産生的靜電問題,該問題曾導緻每年上百萬美元的晶片損失。(替代先前材料:尼龍、标準聚甲醛)

抗靜電PEI

Semitron ESd 410C

Semitron ESd 410C用在芯片檢測制程中操作芯片,使其通過檢測設備。它的顔色為黑色,不透明。

  • 表面電阻率:104 - 106 ohms/sq

  • 耐熱至210°C

  • 應力低,緊公差加工适用

  • 高的強度和剛度

應用

  • 操作托盤

Semitron® ESd 410C 加工而成的托盤,具有可靠的抗靜電性能,尺寸穩定。(替代先前材料:PPS、PEEK、Vespel® PI)

Semitron ESd 420

Semitron ESd 420是一款真正可用于高溫環境的抗靜電塑料産品。

  • 表面電阻率:106 - 109 ohms/sq

  • 熱性能好

Semitron ESd 420V

Semitron ESd 420V的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq 。它是一種堅硬、高強度的材料,暴露在潮濕環境中,不會發生尺寸變化。在對熱性能要求不是超高的情況下,Semitron ESd 420V是一款高性價比的替代選材。

靜電PEEK

Semitron ESd 480

此款抗靜電PEEK的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq。Semitron ESd 480的尺寸穩定性非常高,因此成為臨界測試夾具的理想選材。它的耐化學性良好,極适用作晶片傳送,和濕制程用工具的結構件,而這些應用中,靜電耗散也是非常重要的。作為跨駿Semitron ESd 材料,Semitron ESd480容易被介電擊穿。(參見本頁的注意事項。)

Semitron ESd 490HR

具有稍高電阻率的PEEK材料,其物理性能與Semitron ESd 480相似。

  • 表面電阻率:1010 - 1012 ohms/sq

抗靜電PTFE

Semitron ESd 500HR

采用專有合成雲母增強,Semitron ESd 500HR提供了良好的低摩擦特性和尺寸穩定性。凡是使用 PTFE的場合,都可考慮Semitron ESd 500HR 。用于控制靜電排放時,它是理想的選材。顔色為白色。

  • 表面電阻率:1010 - 1012 ohms/sq

  • 熱至260°C

  • 隔熱

  • 極低的摩擦系數

  • 可耐化學品廣泛

應用

插件

由Semitron ESd 500HR闆材加工而的抗靜電插件,降低了敏感元件因靜電排放而導緻的損壞。(先前材料:陶瓷)

抗靜電PAI

Semitron ESd 520HR

Semitron ESd 520HR是行業内第一款集靜電耗散(ESd)、高強度和耐熱性于一體的材料。該種新型的ESd材料用在測試設備上,是加工嵌套(nest)、測試座(socket)和接觸器(contactor)的良好選材,也是其他元件操作部件的厲害選材。520HR在高壓(>100V)下能抗介質擊穿,這是它的獨特及關鍵特性。下圖呈現的是:通常用在自動測試分類機上,塑料材料表現的電性能。甚至隻是暴露于中等電壓下,傳統碳纖維增強産品的導電性也呈現不可逆轉的增強。

在機械性能都可以勝任的情況下,隻有Semitron ESd 520HR在整個電壓範圍内能夠維持其電性能。

表面電阻率:1010 - 1012 ohms/sq.

應用

IC元件測試夾具

由于集靜電耗散(ESD)和高機械強度于一身,最近一家測試夾具制造商将Semitron ESd 520HR用于加工集成電路測試頭。Semitron ESd 520HR的機械強度高,因此可延長測試頭的使用壽命,同時,增大每小時的測試單元。

Semitron ESd 520HR用于測試嵌套(nest)、測試座(socket)和接觸器(contactor)時,是第一款在抗靜電性能和所有機械性能上都能滿足要求的産品,因此非常可靠。它的抗靜電性能(表面電阻率為1010 到 1012 ohms/sq.)足夠最小化漏電(leakage)風險。Semitron ESd 520HR在電壓高于100伏時,還能保持其電阻率,這點也極為重要。

Semitron® CMP材料

Semitron CMP LL5

Semitron CMP LL5屬于下一代材料,專為盡可能大幅度提高CMP工具的性能而研發。它的顔色為白色,不透明。

  • 超長壽命材料--5倍于PPS

  • 在CMP應用場合,溫度達到 60°C 時的理想選材

  • 氧化化學反應中性能最佳--8倍于PPS

Semitron CMP XL20

Semitron CMP XL20是由三菱化學先進材料研發團隊開發的頂級CMP材料,它的顔色為炭黑色,不透明。

  • 大大降低單片晶圓的成本

  • 性能超越PPS,在大多數工序中達到20倍

  • 高強度和剛度,帶來更少的邊緣損壞和良好的一緻性


此頁内容摘自https://www.mcam.com/zh/産品目錄/塑料機加工型材/

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