Semitron® MPR1000 案例研究

采用先進的新型 PAI，為未來的晶圓生産保駕護航

我們與一家大型半導體工藝設備制造商進行合作，合力開發了一種具有更長使用壽命的抗氧氣清洗耐腐蝕 PAI 材料，以保證生産的平穩運行。

亮點

Semitron^® MPR1000 案例研究

我們幫助客戶克服了蝕刻工具真空腔所用 PI 零件的過早腐蝕問題。

對客戶而言，我們的優勢就在于我們的行業知識和着眼于未來的方法，讓我們對開發增強型 PAI 材料以滿足半導體蝕刻加工嚴苛要求做好了充分準備。

通過協作，我們能夠改進新材料以滿足客戶的規範标準，同時積極對材料的實際應用性能進行了貝塔測試。結果──我們獨特的 Semitron^® MPR1000 是一種增強型 PAI，對氧氣清洗侵蝕防護會比常用的 PI 更加持久。

行業：半導體與電子，芯片制造

解決方案：使用高強度、高純度配方開發新型先進材料以制造更可靠的零件

産品：Semitron^® MPR1000，增強型 PA

結果：更堅固、更耐氧氣清洗的零件可減少停機時間并延長計劃維護周期的時間

挑戰

提高零件完整性，确保持續生産

一家大型半導體加工設備制造商的真空蝕刻腔采用 PI 零件，因氧氣清洗出現快速侵蝕和故障。現有材料退化引發污染問題、過早出現不菲的計劃停機維護。

我們需要生産的零件必須符合所需強度和純度标準，為了優化工具正常運行時間，同時還應足以承受高強度氧氣清洗過程 。

解決方案

具有前瞻性的先進材料研發方法

憑借深厚的行業知識和前瞻性方法，我們已着手研發創新性新型 PAI 材料，這種材料可以免受蝕刻工具過程和清洗方案的影響，并通過延長所需計劃維護間隔，優化正常運行時間。

我們與 OEM 的工程小組通力協作，根據其規範對材料進行了改進，同時積極對材料的實際應用性能進行貝塔測試。

結果 —— 我們獨特的 Semitron^® MPR1000 是一種增強型 PAI，可作為零件的“保護層”，對一般的氧氣清洗侵蝕防護會比常用的聚酰胺更加持久。

“等待響應客戶需求從不是我們的行事作風，主動開發所需材料，為客戶的業務未來保駕護航才是我們的行動标準。憑借深厚的行業專業知識以及與 OEM 的緊密合作，我們開發出一種獨特材料，兼具陶瓷的穩定性與聚合物的延展性，尤其适合用于滿足高科技制造的要求。”

結果

減少生産延期，削減成本

我們與 OEM 合作開發的新型材料采用全新的高新 PAI 配方，已解決客戶的停工時間問題。

測試表明，與常用市售 PI 材料相比，Semitron^® MPR1000 的離子侵蝕含量和滲氣性更低，在标準蝕刻真空工具環境中循環數小時之後造成的污染更少。另外，采用 Semitron^® MPR1000 生産的零件生命周期比常用材料制成的零件高出 10-15 倍，在進行所需計劃維護之前可以延長工具的正常運行時間。

采用 Semitron^® MPR1000 生産零件不僅有助于 OEM 根據其承諾規範運行設備，還可将停機時間減少 90%，從而大幅提高晶圓加工能力。

• 延長蝕刻氧氣清洗侵蝕環境中的壽命

• 降低維護成本

• 延長計劃維護周期之間的生産正常運行時間

此頁内容摘自https://www.mcam.com/zh/case-studies/vacuum-chamber-wafer-etching